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测头部分是二维、三维测量机的重要部件，测头根据其功能有：触发式、扫描式、非接触式（激光、光学）等。

触发式测头：是使用多的一种测头，其工作原理是一个开关式传感器。当测针与零件产生接触而产生角度变化时，发出一个开关信号。这个信号传送到控制系统后，控制系统对此刻的光栅计数器中的数据锁存，经处理后传送给测量软件，表示测量了一个点。

扫描式测头：有两种工作模式：一种是触发式模式，一种是扫描式模式。扫描测头本身具有三个相互垂直的距离传感器，可以感觉到与零件接触的程度和矢量方向，雷顿三坐标精度校准，这些数据作为测量机的控制分量，九龙坡雷顿三坐标，控制测量机的运动轨迹。扫描测头在与零件表面接触、运动过程中定时发出信号，采集光栅数据，并可以根据设置的原则过滤粗大误差，称为“扫描”。扫描测头也可以触发方式工作，这种方式是高精度的方式，与触发式测头的工作原理不同的是它采用回退触发方式。

非接触式激光测头：设计这种小巧、高精度、非接触式激光测头，与影像测量机一起使用。该扫描测头自动调节至工件表面特征以提供准确的测量。根据环境和工件材质自动调节激光强度和相机感光度，以便更简单且舒适地进行激光扫描。改进的测头在无干扰的情况下提高了测量速度和精度。

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